PECVD等离子的基本原理(ppt 30页)

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发布时间:2021-05-07 08:40:43

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资源描述:

PECVD的原理及设备结构 PECVD: Plasma Enhance Chemical Vapour Deposition 等离子增强化学气相沉积 等离子体:由于物质分子热运动加剧,相互间的碰撞就会使气体分子产生电离,这样的物质就会变成自由运动并由相互作用的电子、正离子和中性粒子组成混合物的一种形态,这种形态就称为等离子态即第四态. PECVD的原理 工作原理:Centrotherm PECVD 系统是一组利用平行板镀膜舟和高频等离子激发器的系列发生器。在低压和升温的情况下,等离子发生器

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发布者:文档小宝

上传时间:2023-02-08 07:37:13

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