图电、蚀刻工艺

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发布时间:2023-10-30 18:18:01

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资源描述:

YANTAT:LINHAI恩达电路(深圳)有限公司YanTatCircuit(ShenZhen)Co.,Ltd.1

1YANTAT:LINHAI一、图形电镀2

2YANTAT:LINHAI电镀铜的机理*镀液的主要成份是硫酸铜和硫酸。在直流电的作用下,阴阳极发生电解反应,阳极铜失去电子变成Cu2+溶于溶液中,阴极(飞巴,生产板)Cu2+获得电子还原成Cu原子。*阴极反应:Cu2++2e-=Cu*阴极副反应:Cu++e-=Cu,Cu2++e-=Cu+*由于铜的还原电位比H+高得多,所以一般不会有H2析出。3

3YANTAT:LINHAI电镀铜的机理阳极反|应:Cu-2e-=Cu2+阳极副反应:Cu-e-=Cu+在足够硫酸环境下,亦有如下反应2Cu++1/2O2+2H+=2Cu2++H2O当硫酸含量较低时,有如下反应2Cu++2H2O=2Cu(OH)2+2H+2Cu(OH)2=Cu2O+H2OCu2O即成“铜粉”,有Cu2O出现时镀层会变得疏松粗糙。4

4YANTAT:LINHAI*电镀锡与电镀铜机理一样利用电解作用获得金属镀层。阴极反应:Sn2++2e-=Sn阳极反应:Sn-2e-=Sn2+镀锡溶液主要成份是硫酸亚锡和硫酸。电镀锡的机理5

5YANTAT:LINHAI电镀线各药水缸成份及作用*微蚀缸*|镀铜缸*水洗缸电镀线药水缸介绍*除油缸*浸酸缸*镀锡缸*退镀缸6

6除油缸Component:酸性除油剂UsageYANTAT:LINHAI清除板面污渍,指纹及菲林碎等杂质,获得清洁的基铜表面。7

7微蚀缸Component:过硫酸钠,硫酸溶液(本公司采用)另有硫酸和双氧水型。去除待镀线路与孔内镀层的氧化层Usage增加其表面的粗糙度从而提高基材与镀层的结合力YANTAT:LINHAI8

8YANTAT:LINHAI浸酸缸Component:H2SO4溶液Usage去除铜表面轻微的氧化层防止污物污染铜缸9

9YANTAT:LINHAI镀铜缸Compo|nent:硫酸铜、硫酸氯离子以及电镀铜添加剂Usage进行点化学镀铜反应,使铜厚达到要求值。10

10YANTAT:LINHAI铜缸各药水的作用*硫酸铜-镀铜液中的主盐,它在水溶液中电离出铜离子,铜离子在阴极上获得电子沉积出镀铜层。Control浓度:50-90g/Land提高其浓度可以提高允许电流Usage密度,避免烧板;含量过高,会降低镀液的分散能力。11

11YANTAT:LINHAIControlandUsageControlandUsage铜缸各药水的作用硫酸主要作用:增加溶液的导电性控制:浓度低则镀液分散理下降;浓度高则镀液分散能力较好,但镀|层的延展性会降低,控制浓度8-14%。氯离子主要作用阳极活化剂,可以使阳极正常溶解。控制浓度过低时,易出现烧板和针孔;当浓度过高时,会使镀层亮度下降,低电流区发暗甚至阳极表面出现一层白色膜,使阳极钝化。12

12YANTAT:LINHAIUsageComponent:光亮剂、整平剂湿润剂、分散剂等铜缸各药水的作用电镀添加剂主要作用:帮助获得良好镀层。保证镀液良好的分散能力和深镀能力,使镀层有足够的强度和导电性、延展性,同时使板面镀层厚度和孔壁镀铜厚度之比接近1:1。镀液中CL-与添加剂协同作用将使我们获得满意的镀层。13

13YANTAT:LINHAIC|onsume添加剂的消耗根据电量来补加。添加剂消耗速度大小受槽液配制、缸温、空气搅拌、电流密度等多种因素的影响。采用赫尔槽分析办法进行调整。添加剂分解后的副产物是铜缸中污染物的主要来源。铜缸各药水的作用14

14YANTAT:LINHAI镀锡缸Component:硫酸亚锡(主盐)、硫酸有机添加剂其作用与铜缸基本一致,但与Compare镀铜缸相比,可不用补加CL-及不需要空气搅拌。15

15YANTAT:LINHAIusage操作条件对镀铜品质的影响温度*提高温度则加快添加剂的分解,增加其消耗量,镀层光亮度降低甚至镀层粗糙。*温度太低,则消耗量降低,但在高|电流区易烧板。温度控制在20-300C。搅拌*空气搅拌:使用无油的空气泵,空气最好要经过过滤净化。使镀液强烈翻动,增加电镀的均匀性,同时提供足够的氧气,从而使溶液中的Cu+氧化成Cu2+,消除Cu+的影响。16

16YANTAT:LINHAI450缸底450操作条件对镀铜品质的影响搅拌*打气管的布置:1#管子平行阴极布置在缸底,打气孔径2-3mm,孔距80-120mm,孔中心线与垂直方向成450角。*打气布置的位置亦直接影响电镀的品质。空气搅拌的剧烈程度亦直接影响添加剂的消耗量。同时空气搅拌亦要求镀液清洁,一般与溶液的连续过滤配合使用。17

17YANT|AT:LINHAI过*过滤可以净化溶液,及时去除机械杂质,防止铜粒出现,同时使槽液流动,降滤槽中经冷却的镀液循环入镀槽,达到控制温度的作用。*过滤要求使用5-10m的棉芯,每小时至少过滤一次溶液,加碳芯过滤可进一步清除缸中有机质质及污染物。操作条件对镀铜品质的影响滤摇摆*机械摇摆通过通过机械作用使阴极产生移动,有利于增强电镀均匀性。移动方向与阳极呈一定的角度,可促进孔内溶液的流动性,亦可及时赶去吸附在板面的小气泡。移动幅度20-30mm,频率5-25次/分钟。18

18YANTAT:LINHAI操作条件对镀铜品质的影响电流控制*当其它操作条件(温度、|摇摆、搅拌等)一定时,镀液所允许的电流密度范围就一定了。不同的电镀添加剂所允许的电流密度范围有所不同,但通常在8-35ASF。电流控制*电流密度不同,析铜的沉积速率也不同。实验显示,电流密度与沉积速率仅在10-28ASF范围内大致呈线性关系。沉积速率电流密度19

19YANTAT:LINHAI操作条件对镀铜品质的影响电流控制*本公司测算以22.5ASF电流密度电镀60分钟可得到1mil厚度的镀铜电流值I电流密度D=电流面积S*有了以上的关系式,则可计算电镀时电流的大小,如需获得Nmil厚度之镀铜,则计算电镀时间如下:T=DSN60(分钟)*在

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发布者:知识小屋

上传时间:2023-10-27 19:44:26

认证主体:赵**(个人认证)

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