蚀刻补偿原理及应用 (2)

蚀刻补偿原理及应用1、蝕刻補償原理什麼是“間隔噴淋蝕刻”的意思？為什麼“間隔噴淋蝕刻”能給我們一個更加均勻的蝕刻效果呢？當蝕刻噴淋到上板面的時候，板邊緣的藥水流動要更快於板中間，這樣導致了在上板面形成一種“魂凝”狀態，從而阻礙了噴淋和降低了蝕刻反映速度，導致在上板面形成一個“銅山”（如圖一所示），為了得到更好的蝕刻品質，這些“銅山”應該要除去，下面圖表會解釋這個過程。所謂的“銅山”已經使用3D圖表顯示，同時使用等高線分開。使用3D圖像除去“銅山”紅色區域=第一根噴管（9個噴嘴黃色區域=第二根噴管（8個噴嘴）淺藍色區域=第三根噴管（7個噴嘴）等等…..為了補償上板面“混凝”的影響，設|計了一個特殊的噴淋系統，這個系統在工作方向垂直方向上安裝了一些噴管，每一根噴管可以各自的控制其開關，而且每一根噴管安裝了不同數量的噴嘴，噴嘴的形狀安排成一個三角形。正常情況下按照以下排列：第一根噴管安裝了9個噴嘴，第二根噴嘴安裝了8個噴嘴，第三根噴管安裝了7個噴嘴，如此類推，直到最後一根噴管安裝3到4個噴嘴為止，如圖2所示。由於可以選擇每一個噴管的開、關，在板面上的“銅山”可以被一層一層的除掉。

1間隔噴淋缸內噴管的噴嘴被排列為V形的形狀下面給了我們關於“間隔噴淋”程式更詳細的解釋：圖例R1=第一根噴管R2=第二根噴管等等…Cu1.5=1.5um銅厚區域Cu3.0=3.0um銅厚區|域感應器=監控板的位置以上圖解顯示了有6根噴管的“間隔噴淋”系統，在板面上的橢圓形表示了板面上殘銅（銅山）的不同的厚度。當板走進時，有8個噴嘴的第一根噴管被開動，目的是蝕刻掉1.5um的銅厚，意味著原來1.5um的區域被蝕刻為0um，3un的區域蝕刻為1.5um，如此類推。在第一個噴管到達板後端以前，第二根噴管已經被開動，實際上是在1.5um銅厚的區域剛好到達第二根噴管時開動的。第三根噴管是在下一層銅層到達時開動，如此類推，一直到裝有3個噴嘴的最後一根噴管噴完為止，這意味著這個系統可以根據實際蝕刻掉板面上最後一層銅層，而噴灌管的開、關選擇可以在PLC控制的PC上設定。2、蝕刻補償控|制與操作（手動機）

22.1控制板面之操作鍵操作鍵功能備註HELP顯示HELP內文Help指示燈發亮時,表示有內文訊息ENTER輸入確認及完成輸入ACK確認確認錯誤訊息ESC解除/返回/取消1.在未按ENTER前,除消輸入.2.返回上一頁或顯示板面3.離開Help內文移動輸入/浮標/顯示上下左右箭頭表示移動方向+SHIFT選擇其他輸入符號/文字如選擇蝕刻補償噴淋狀態:on(長開),off(長關),Int(間歇噴淋)2.2概覽蝕刻補償各噴管狀況Over-view

3按鍵進入概覽板面(在概覽板面內,可視察噴管開關狀況)╦╦╤╤╦╦╤╤╦╦╩╩╧╧123456789101234噴管號噴管|開關狀況:上噴管開啟╦上噴管關閉╤下噴管開啟╩下噴管關閉╧2.3閱覽工作狀態信息Mes-sages按鍵進入信息閱覽板面(在信息板面內,可閱覽工作狀態信息)工作信息信息編號故障信息信息編號S#003Notalldoorsandcoversareclosed.B#000Nomessagespresent.Press.離開工作信息板面,需按下鍵與工作信息不同,故障信息會閃動,直致按下但必須確認或修復排除所有故障信息鍵確認或修復排除故障如有多個信息可按閱讀其他信息幫助排除故障內文HS#003Pleaseclosealldoorsandcovers.按<|HELP>鍵閱讀內文,離開按鍵2.4蝕刻補償參數輸入PIPE按鍵進入設定補償參數板面

4在板面首頁可輸入零點修正值及蝕刻補償類型GeneralsettingsOffset:10cmMode:Innerlayer>>零點修正為+10厘米蝕刻補償類型為內層補償(Outsidelayer外層補償)下頁零點修正范圍------+50cm~-50cm蝕刻補償類型為內層補償時,只有板面內心部分受噴淋蝕刻補償類型為外層補償時,只有板面沿邊部分受噴淋如下圖示:板後沿設定板前沿設定內層補償生產板傳動方向外層補償=噴淋區域按(下頁)可輸入蝕刻補償參數Toppipe01:intStartAft|erFront:5cmStopBeforeEnd:5cm<<>><<>>第一排上噴管間歇噴淋板前沿5厘米(設定)板後沿5厘米(設定)下頁上頁

5>>>>按Toppipe02:intStartAfterFront:0cmStopBeforeEnd:0cm<<>><<>>2.5輸入應用程式PROG按鍵進入應用程式板面ProgramsAct.:11New:0輸入新應用程式(可鍵入1-20號程式)11號程式應用中板面首頁ENTER鍵入新程式New:??後按下鍵現假設新程式為2號程式,輸入操作如下:ProgramsAct.:11New:2SaveLoad‖‖ProgramsAct.:11Ne|w:0鍵入2ENTER

62.6載入及儲存程式載入程式儲存程式ProgramsSave11to2?YesNo‖‖<<>>ProgramsAct.:11New:2SaveLoad‖‖<<>>ProgramsLoadprogram2?YesNo‖‖<<>>ProgramsAct.:11New:2SaveLoad‖‖<<>>按下此鍵按下此鍵按下此鍵按下此鍵完成載入程式完成儲存程式3、蝕刻補償操作步驟：3.1選擇內層/外層模式，一般情況下選擇內層模式3.2選擇噴淋模式為“間隔噴淋”，同時設定所有距離為0cm3.3進板3.4零點修正：觀察是否在板到時馬上噴淋如果超過噴管再噴淋，選“-”如果沒|到噴管噴淋，選“+”1.5設定噴淋主壓力1.6設定分壓1.7進板1.8測量和記錄銅厚資料

71.5根據資料調整補償蝕刻和分壓或總壓（如有需要）.3.10重複第7~9項直至標準偏差小於0.7(0.5OZ),1.2(1OZ),1.6(2OZ)4、異常問題處理：問題原因解決措施参数设定正确，蚀刻补偿不